單晶車間事故應急方案

　　一.供電公司計劃停電（檢修設施，計劃供電等）

　　針對以上情況，需要注意以下幾個方面： 1、供電公司必須提前二天通知公司配電負責人， 確定停電，送電的時間及停電的線路等；公司配電 負責人通過行政辦向相關部門發文通知； 2、單晶車間根據單晶爐的每爐拉晶時間，決定 各爐的停爐時間，在停電之前5小時必須停爐冷卻， 防止停電時爐體過熱。 3、停電時，相關部門安排人員仔細檢查電器， 供水系統是否正常，單晶車間對單晶爐進行維修保 養。

　　二.突發性停電

　　在正常生產過程中出現突然斷電，當班組長首先保持冷靜， 做出正確指揮 1.班組長工作內容： 發生斷電后立即前往一樓開啟備用電源（指定熟悉備用電源 的員工），在備用電源也無電時，立即啟動柴油發電機，啟 動后觀察發電機電壓380V穩定后，合上送電開關。保證冷 卻水的正常供應。 送水后指導輔助工協同操作工注意各爐臺水壓變化，水壓在 2.5-3.0，如有異常及時上報班長及相關部門。 在一樓送電的同時，組織現場搶救工作，各爐臺操作工處理 好自己的爐臺，檢查是否處理得當。 等待來電的同時安排好崗位工作，操作看好爐內變化記錄結 晶時間。

　　停電時采取的措施：

　　若爐子工作時，加熱部分停電：

　　1、在控制面板上點擊工序重置【此時 UPS自動供電給 籽晶馬達，坩堝馬達。在自動狀態下(在引晶之后)：180S之 后，籽晶自動上升100mm，坩堝自動下降50mm。但是在 180S之內退出自動或在手動狀態下則不會有以上動作。】 使其轉換為手動狀態,關閉所有轉動開關,降低堝位50mm左 右,,使晶體脫離液面.加熱電源轉換為功率控制，然后將功率 調整至零。 2、如果斷電時間較短,液面未結晶或已結晶且小于4分 鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結晶面 如果晶體長度小于我們規定的長度,則進行回熔處理,如果大 于規定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引晶等工作。

　　控制電源斷電的處理方法：

　　1、控制電源斷電; 在控制面板上點擊工序重置，使其轉換為手動狀態， 降堝位50mm左右,使晶體脫離液面. 2、如果控制電源無法恢復供電, 當不能及時恢復通電時，則必須關閉 加熱器，關閉S/L、S/R 、C/L、C/R，提升晶棒脫離液面，升高坩堝 位置（液面結晶后半小時頂起熱屏），充氬氣至常壓自然冷卻。 3、控制電源恢復供電, 液面未結晶或已結晶且小于4分鐘則重啟加熱 電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結晶面，打開S/L、S/R 、C/L、 C/R，在打開S/R晶轉 和C/R堝轉之前確保S/R 和C/R電位器處于零位。 如果我們等徑長度大于規定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引 晶等工作, 如果晶體長度小于我們規定的長度,則進行回熔處理

　　三.來電后班組長現場指揮工作：

　　a.電源恢復時，立即開真空泵，待半分鐘后開抽空閥門，將氬氣流量恢 復正常。 b．若時間較短（液面未結晶或液面已結晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破），按加熱 功率開，將功率升至熔料功率。 c．若時間較短（液面未結晶或液面已結晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破），按加熱 功率開，將功率升至熔料功率。 d．熔化結晶面，在此期間應密切注意硅料液面熔化情況，一旦發生硅 液面下降，立即停爐并上報管理人員。 e．晶體處理同晶變單晶一致，待結晶全熔后，手動調節功率為引晶功 率，溫度穩定后，開始引晶作業。 f．若停電時間較長（液面結晶已經大于10 分鐘或石英坩堝破裂），快 速提升晶體或 籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 g．在熔體結晶40分鐘時，快速提升坩堝，使坩堝頂起導流筒 100mm(堝內原料不足30kg不必頂起)。停爐，充分冷卻后拆爐。

　　重點提示：如若顯示電腦控制面板和加熱部分電源一起出現斷電，操作員工應 該頭腦冷靜，必須在2分鐘內關閉爐臺 下部氬氣球閥，防止爐臺副室門自動沖 開，引起重大事故。

　　漏硅的應急處理：

　　1．立即關閉功率。 2．退出控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態。 3．關閉堝轉。 4．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 5．在熔體結晶40分鐘時，如有可能，快速提升坩堝，使坩 堝頂起導流筒100mm。 6. 關閉真空泵抽氣蝶閥，防止硅液進入管道，開啟副室球 閥進行抽空，等液面結晶后再開啟主室蝶閥，關閉副室蝶閥。 7. 檢查各處電線是否緊靠著受熱抽空管道，防止引起電線明 火。 8.停爐，充分冷卻后拆爐。

　　重點提示：做好前幾步后，氬氣充到常壓的一半左右，使其自然冷卻，處理完成后去 爐臺下觀察坩堝軸波紋管是否破裂漏硅，真 空管道、波紋管邊上是否有電線緊挨住，有 無起火等安全隱患，其它地方也要仔細觀察， 如有異常及時做出處理。

　　停水事故（供水設備故障，水泵控制電路 故障，管路故障，水池缺水，停電）

　　發生停水時采取的措施： 發生停水時，立即打開停水爐子的事故水進水閥（一般為消 防水，）。 1.當爐臺水壓不夠或完全停止的時候，爐臺會做出自我保護 措施停止加熱從而出現DC電源打火報警. 2.如果水壓不能及時恢復,在等徑的爐臺立即將晶棒與液面脫 離,防止結晶.關閉晶轉鍋轉. 3.加大氬氣流量,蝶閥全部打開,加速冷卻. 4.如果結晶時間超過15分鐘原料較多的爐臺將導流筒頂起, 石英坩堝不可頂到大蓋,防止硅料膨脹后把大蓋漲壞. 做好上續措施后水壓還未恢復的時候要仔細觀察爐臺。 停 水后水壓恢復：

　　1.冷卻水恢復供應時，關閉事故水閥門，監控水壓，有異常立即報 告管理人員。 2.水壓恢復時，爐內無氧化現象，熔體未結晶或已結晶但液面結晶 小于4分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開，調節功率到熔料功率。 3.啟動堝轉，設定為1轉/分，打開堝轉前，確保堝轉電位器處于零 位。 4 .熔化結晶面，在此期間應密切爐內有無氧化現象，注意硅料液面 熔化情況，一旦發生氧化現象、硅液面下降，立即停爐并上報管理人員。 5.晶體處理同晶變單晶一致，待結晶全熔后，手動調節功率為引晶 功率，溫度穩定后，開始引晶。 停水后水壓無法恢復，或恢復時熔體已結晶大于4分鐘。 1.快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 2.在熔體結晶40分鐘時，快速提升坩堝，使坩堝頂起導流筒100mm。 3.停爐，充分冷卻后拆爐。

　　一．把停水的原因查清進行處理，同時向相關領導（直屬上 級）和相關部門（設備部，安全辦）進行報告； 二．在事故發生時，安全員，外圍設備操作工，單晶班長和 單晶員工各司其責，有條不紊的進行處理，不要造成不必要 的混亂； 三．一般停水事故會發生在以下幾個方面：一，水泵故障停 水（啟動備用水泵）；二，水池缺水（關閉進水閥門，向進 水管道中補充應急水；另一方面，向水池補充ao水，恢復正 常生產）；三，管道系統中出現泄漏；盡量堵漏等停爐后進 行維修； 四．事故解決后，要認真檢查水，電，氣等的各類參數，確 定沒有問題，開始正常生產；

　　石墨坩堝裂開時采取措施：

　　1．石墨坩堝裂開可觀察電壓電流表狀態，是否有抖動現象。 2．有抖動現象說明與加熱器相擦，應立即關閉功率。 3．退出控制柜面板上單晶生長自動控制器，使其處于手動 狀態。 4．關閉堝轉。 5．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6．在熔體結晶40分鐘，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝 頂起導流筒100mm。 7．停爐，充分冷卻后拆爐。

　　爐內漏水或觀察窗玻璃裂開：

　　1．當爐內出現大量漏水或觀察窗玻璃裂開時，則立即關閉 功率。 2．關閉所漏部位的水源，關閉閥門及真空泵，對爐內進行 充氬氣至50KPa左右，關閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時確認 爐內未出現大量漏水可不關閉閥門及真空泵蝶閥但要隨時觀 察爐內情況，以采取應急措施。 3．退出自動控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動 狀態。 4．關閉堝轉。 5．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6．在熔體結晶40分鐘時，如有可能，快速提升坩堝，使坩 堝頂起導流筒100mm。 7．停爐，充分冷卻后拆爐

　　電器短路起火（用電負荷過大，接線松脫，電 器內灰塵，雜物過多） ? 1.當電器起火時，首先關閉控制電器的電源 總開關， ? 2.如有明火時，用干粉滅火器撲滅， ? 3.按照實際情況進行修理或更換； ? 4.故障排除后，經檢查無誤再恢復生產；

　　工傷事故（一般車間工傷事故，酸洗車間工傷事故）

　　a. 1.一般車間發生工傷事故后，由當班管理人員向安全員匯報，同時向直 屬上級領導進行匯報， 2.在等待安全員到達的同時，進行必要的施救； 3.如遇情況危急，可在安全員未到現場情況下，送患者去醫院搶救； 4.安全員到達現場處理時，所有人員必須聽從安全員的指揮； 5.在安全員了解事故情況時，相關人員必須如實回答，不得欺騙，隱瞞； 6.在事故沒有完全結束時，安全員要隨時關注事情的進展，并對相關人 員進行反饋； 7.當事故結束后，安全員應召集相關人員開安全事故鑒定會，對相關事 宜進行處理；

　　b.1.當酸洗車間發生化學品以身體接觸造成事故，首先，立即 用大量清水沖洗患處 10-20分鐘，用毛巾擦干水漬，在患處涂上藥膏； 2.事故發生時，由當班管理人員向安全員匯報，同時向直屬 上級領導進行匯報； 3. 在等待安全員到達的同時，進行必要的施救； 4. .如遇情況危急，可在安全員未到現場情況下，送患者去醫 院搶救； .5. 安全員到達現場處理時，所有人員必須聽從安全員的指揮； 6..在安全員了解事故情況時，相關人員必須如實回答，不得 欺騙，隱瞞； 7. 在事故沒有完全結束時，安全員要隨時關注事情的進展， 并對相關人員進行反饋 8. .當事故結束后，安全員應召集相關人員開安全事故鑒定會， 對相關事宜進行處理；

　　后語

　　其實在單晶車間出現事故并不可怕，可怕的 是班組長不懂得如何對事故進行應急，以減 少事故本身帶來的損失。因此對車間班組長事故應急指揮，車間操作 員工的安全應急預案培訓必須嚴格落實，每 周必須培訓，每月進行現場應急操作考核。

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