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真空泵振動(dòng)異常
真空泵振動(dòng)異常是一個(gè)需要關(guān)注的問(wèn)題，因?yàn)樗赡苡绊懙秸婵毡玫男阅芎褪褂脡勖Ｒ韵率切【幷淼恼婵毡谜駝?dòng)異常，僅供參考，希望能夠幫助到大家。
真空泵振動(dòng)異常【1】
摘要：本文詳細(xì)敘述了對(duì)真空泵的一種故障進(jìn)行診斷的全過(guò)程，從而說(shuō)明在企業(yè)開(kāi)展設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)的重要意義。
關(guān)鍵詞：真空泵 振動(dòng) 頻譜 診斷
前言
真空泵作為一種提供負(fù)壓能源的設(shè)備，在煙草企業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中是相當(dāng)?shù)闹匾婵毡霉收蠈?dǎo)致整個(gè)卷包車間的停產(chǎn)。
我公司2010年二期技改項(xiàng)目采用三臺(tái)型號(hào)為2BE1-253的真空泵配合運(yùn)行，10月分投入運(yùn)行。
真空泵的連接方式采用彈性聯(lián)軸器連接，該真空泵2010年10月投入運(yùn)行。
我公司采用艾默生的CSI-2130狀態(tài)監(jiān)測(cè)分析儀進(jìn)行設(shè)備的狀態(tài)監(jiān)測(cè)及故障診斷，在生產(chǎn)過(guò)程中的設(shè)備管理起到了很好的效果。
該真空泵的功率為75KW，轉(zhuǎn)速為743r/min，經(jīng)過(guò)計(jì)算轉(zhuǎn)動(dòng)頻率為12.38Hz。
一、故障現(xiàn)象
2013年4月發(fā)現(xiàn)真空泵聲音異常，振動(dòng)異常，可以明顯的看到真空管上的壓力表晃動(dòng)厲害。
4月23日利用CSI2130狀態(tài)監(jiān)測(cè)儀進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)：M2H、M2V、P1H、P1V的振動(dòng)值有明顯的變化，P1H、P1V的變化差值更大。
P1H振動(dòng)值由4月16日的2.629mm/s上升到了8.582mm/s，P1V振動(dòng)值由3.395mm/s上升到了7.706mm/s。
通過(guò)CSI2130的振動(dòng)報(bào)警顯示，這兩個(gè)測(cè)點(diǎn)的振動(dòng)值還處于報(bào)警的初級(jí)階段，因此我們決定繼續(xù)觀察，加強(qiáng)巡檢。
在5月3日再次對(duì)真空泵進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)，發(fā)現(xiàn)P1H/P1V的振動(dòng)值又明顯的增大了，P1H振動(dòng)值為10.29 mm/s，P1V的振動(dòng)值為8.077 mm/s。
通過(guò)趨勢(shì)管理可以明顯的看出這兩個(gè)測(cè)點(diǎn)的振動(dòng)變化速度極快，如下圖所示。
二、振動(dòng)分析
從振動(dòng)的趨勢(shì)圖可以明顯的看出，5月3日的P1H振動(dòng)幅值已經(jīng)超過(guò)了設(shè)定的故障值，P1V振動(dòng)幅值也超過(guò)了報(bào)警值，因此針對(duì)5月3日振動(dòng)測(cè)量值，對(duì)P1H、P1V測(cè)點(diǎn)進(jìn)行頻譜分析。
從圖4、圖5可以明顯的看出P1H、P1V振動(dòng)幅值最大的都是在頻率為12.39Hz時(shí)，基本與轉(zhuǎn)速頻率相同，在2-4倍轉(zhuǎn)速頻率的位置存在振動(dòng)峰值。
結(jié)合振動(dòng)趨勢(shì)管理，真空泵聯(lián)軸器兩端出現(xiàn)振動(dòng)的變化較大情況，初步判斷為聯(lián)軸器故障。
三、故障處理
維修工拆開(kāi)真空泵的聯(lián)軸器，發(fā)現(xiàn)聯(lián)軸器的彈性塊磨損嚴(yán)重，部分已經(jīng)斷裂成小塊，證明經(jīng)過(guò)振動(dòng)分析的故障診斷是正確的。
之后維修工進(jìn)行了彈性塊的更換，如圖6所示。
更換了聯(lián)軸器的彈性塊之后，異常聲音消失了，利用CSI2130儀器重新檢測(cè)，P1H、PIV的振動(dòng)值明顯的降低了，分別為3.299mm/s和3.235mm/s，說(shuō)明故障診斷及故障處理的正確性。
四、結(jié)論
企業(yè)在利用先進(jìn)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)技術(shù)，例如振動(dòng)分析、油液分析、溫度測(cè)量等手段進(jìn)行設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行分析，提前預(yù)知設(shè)備的故障，做好設(shè)備的維修保養(yǎng)工作，說(shuō)明了狀態(tài)監(jiān)測(cè)的重要性。
真空泵系統(tǒng)工藝設(shè)計(jì)計(jì)算及選型【2】
【摘要】真空泵廣泛應(yīng)用于精餾、干燥、過(guò)濾等工藝過(guò)程，為了滿足工藝過(guò)程中真空度的要求以及選擇合適的真空泵，合理確定空氣泄漏量、工藝抽氣量、管道壓力損失等因素就顯得尤為重要，因此本文主要介紹真空泵系統(tǒng)的工藝設(shè)計(jì)計(jì)算及選型。
【關(guān)鍵詞】真空泵系統(tǒng) 抽氣量 工藝計(jì)算 選型
1 真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)基礎(chǔ)
1.1 空氣泄漏量估算
對(duì)真空系統(tǒng)的空氣泄漏量最好是有試驗(yàn)測(cè)定，但對(duì)一個(gè)新的設(shè)計(jì)或不能進(jìn)行試驗(yàn)的場(chǎng)合，只能通過(guò)估算求得，目前主要有以下幾種方法：
1.1.1?根據(jù)接頭密封長(zhǎng)度進(jìn)行的泄漏量估算?
按接頭密封質(zhì)量分別估算泄漏量：非常好，泄漏量0.03 kg/(h·m);好，0.1 kg/(h·m);正常，0.2 kg/(h·m)。
2 真空泵選型計(jì)算
(1)根據(jù)真空系統(tǒng)的真空度和泵進(jìn)口管道的壓降，確定泵吸入口處的真空度;
(2)根據(jù)表1、表2或者式(1)估算空氣泄漏量;
(3)根據(jù)工藝條件確定工藝物料抽氣量;
(4)根據(jù)式(4)確定真空泵總抽氣量;
(5)選擇管徑并判斷管道壓降是否滿足工藝要求;
(6)由式(5)計(jì)算真空系統(tǒng)的抽氣速率Se。
現(xiàn)以山東民基2.5萬(wàn)噸/年氯乙酸項(xiàng)目中輕組分塔真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)為例，說(shuō)明真空泵計(jì)算及選型過(guò)程。
該系統(tǒng)要求塔頂冷凝器操作條件為18℃，9kPa，要求冷凝器到真空泵入口的壓力降小于1kPa，冷凝器中的液相物料含量為90.2wt%醋酸，5.53 wt%氯乙酸，4.27 wt%水。
換算為摩爾質(zhì)量含量為83.5mol%醋酸，3.23mol%氯乙酸，13.27mol%水。
18℃時(shí)醋酸、氯乙酸、水的飽和蒸汽壓分別為：1.38kpa、0.015kPa、2.06kPa。
3.1 泄漏空氣量估算
真空系統(tǒng)由輕組分塔、冷凝器、餾出液罐及管道組成，計(jì)算容積為35m3，因其壓力為9kPa，根據(jù)表3，k值取0.146，由式(1)計(jì)算得空氣泄漏量W空氣為7.6kg/h，保守計(jì)算，取計(jì)算的2倍即15.2 kg/h作為系統(tǒng)的空氣泄漏量。
UV>U，所取管徑0.1m滿足壓降要求。
3.4 將Se換算成泵廠樣本規(guī)定條件下的抽氣速率Se’
根據(jù)文獻(xiàn)[ 1 ]中推薦的公式計(jì)算得k1=0.68，k2=0.996，則泵廠樣本規(guī)定條件下的抽氣速率Se’。
為Se’=Se/(0.68 x0.996)=247.2m3/h。
3.5 選擇真空泵
根據(jù)Se’及真空度要求在真空泵廠家的樣本中選擇真空泵的類型。
4 結(jié)論
在真空泵系統(tǒng)的工藝計(jì)算及選型中，需要對(duì)抽氣量、溫度、壓力等工藝參數(shù)認(rèn)真充分考慮，確保真空泵選型合理可靠。
RH精煉爐真空泵系統(tǒng)研究【3】
摘要：基于萊鋼RH精煉爐的工藝概述，主要介紹RH精煉爐真空泵系統(tǒng)的設(shè)備組成及主要技術(shù)參數(shù)。
關(guān)鍵詞：KH精煉爐;真空泵;工作模式
1 RH精煉爐工藝概述
RH(即真空循環(huán)脫氣)系統(tǒng)設(shè)備是一種鋼水二次精煉工藝裝備，主要用于生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鋼材的。
整個(gè)鋼水冶金反應(yīng)是在真空槽內(nèi)進(jìn)行的。
真空槽的下部是兩個(gè)浸漬管用于插到鋼包鋼水里，用于實(shí)現(xiàn)鋼水在真空槽和鋼包之間的環(huán)流。
為了防止高溫鋼水溶蝕掉真空槽和浸漬管的金屬壁，真空槽和浸漬管內(nèi)部都砌有耐火磚。
真空槽的上部裝有熱彎管。
抽真空的氣體由熱彎管經(jīng)氣體冷卻器至點(diǎn)火系統(tǒng)燃燒后排到廠房外。
2 真空泵系統(tǒng)設(shè)備
2.1 真空泵。
本真空泵設(shè)計(jì)為五級(jí)蒸汽噴射系統(tǒng)，帶有二臺(tái)中間冷凝器、一臺(tái)末級(jí)冷凝器和一套真空壓力調(diào)節(jié)裝置。
冷凝器的作用是將前級(jí)噴射泵排出的蒸汽冷凝成水以提高后級(jí)噴射泵的效率。
第一級(jí)增壓泵的外殼四周焊有加熱隔套，以防止結(jié)冰。
為降低該級(jí)泵的膨脹比，在蒸汽噴咀前加一節(jié)流減壓噴咀，以提高工作的穩(wěn)定性。
為提高低真空段的抽氣能力和縮短抽氣時(shí)間，在末兩級(jí)噴射泵并聯(lián)兩臺(tái)預(yù)抽真空噴射泵。
從第四級(jí)泵排出的廢氣(蒸汽混合物)通過(guò)末級(jí)冷凝器、排氣管再由煙囪排到廠房外，該排氣管上方裝有廢氣分析儀的檢測(cè)取樣點(diǎn)。
2.2 真空抽氣主管系統(tǒng)。
真空抽氣主管系統(tǒng)是用來(lái)把真空泵系統(tǒng)連接到脫氣處理工位。
它從氣體冷卻器開(kāi)始，到水冷彎管為止。
抽氣主管上配有熱電偶，以便檢測(cè)氣冷器進(jìn)、出氣口溫度。
配有破空用接口，在真空主閥前、后各有一點(diǎn)。
當(dāng)真空槽內(nèi)壓力≤65mbar時(shí)，用空氣破空。
反之，用氮?dú)馄瓶?破空時(shí)間30～60S)。
2.2.1 氣體冷卻器。
氣冷器是焊接筒體結(jié)構(gòu)，外殼盤有半圓水冷盤管，水冷盤管的作用是熱交換，降低從真空槽抽出的廢氣溫度。
同時(shí)氣冷器也是一個(gè)慣性除塵器，它把排氣流中的粉塵顆粒沉降在氣冷器的下部，然后通過(guò)氣動(dòng)翻板卸下，經(jīng)卸灰溜槽進(jìn)入灰塵收集箱內(nèi)。
在每次真空處理之前，此翻板都要通過(guò)控制盤上的按鈕來(lái)操作動(dòng)作一次。
該氣動(dòng)翻板的另一個(gè)作用是排出由于溫差或冷卻水滲漏而凝聚在氣冷器內(nèi)部的水。
為此，氣冷器應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的檢測(cè)元件，給出在水滲漏和冷卻水?dāng)嗔鞯那闆r下發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
2.2.2 真空抽氣管。
真空抽氣管主要是兩段管線，第一段是：真空主閥到氣冷器之間。
第二段是：氣冷器到水冷彎頭之間。
第一段管，一端與真空主閥法蘭對(duì)接，另一端與氣冷器出口焊接。
第二段管，一端與水冷彎頭法蘭對(duì)接，另一端與氣冷器進(jìn)口焊接。
第二段管外壁盤有水冷管，內(nèi)壁砌有耐火襯。
2.2.3 真空主閥。
真空主閥設(shè)置在氣冷器與1B泵之間。
在啟動(dòng)真空泵前關(guān)閉主閥，予抽到設(shè)定的真空度后打開(kāi);以此，達(dá)到縮短抽氣時(shí)間的目的。
閥的啟閉由電液缸驅(qū)動(dòng)。
2.2.4 連接彎頭，連通彎頭的作用是將兩個(gè)處理位與真空抽氣主管連通，以達(dá)到切換處理位的目的。
2.3 噪音隔離設(shè)施。
真空泵系統(tǒng)工作時(shí)，由高速蒸汽流產(chǎn)生較大噪音。
在無(wú)噪音隔離隔設(shè)施時(shí)的噪音等級(jí)遠(yuǎn)大于廠房?jī)?nèi)規(guī)定的70分貝，因此，在泵的外表面須包扎隔音材料。
隔音材料由金屬絲網(wǎng)和礦物棉編制而成，用鍍鋅鐵皮包扎。
為防止隔音材料串動(dòng)，中間加有支撐環(huán)。
支撐環(huán)在安裝包扎時(shí)，焊在設(shè)備表面。
包扎隔音材料是在真空泵系統(tǒng)冷調(diào)試完畢后進(jìn)行，如時(shí)間允許最好在熱負(fù)荷試車一周后進(jìn)行。
噪音檢測(cè)：距離聲源1米處進(jìn)行。
2.4 熱井。
冷凝器冷卻水由冷凝器排水管排入熱井，經(jīng)熱井回水泵將水打回到水處理進(jìn)行冷卻和去除雜質(zhì);回水泵的開(kāi)閉通過(guò)熱井液位的來(lái)控制。
2.5 高壓水清洗系統(tǒng)。
蒸汽噴射真空泵系統(tǒng)在真空處理鋼液一定的周期內(nèi)，其泵體內(nèi)壁需進(jìn)行清洗。
否則，內(nèi)壁集灰太多會(huì)影響真空泵的性能。
清灰時(shí)，人工打開(kāi)設(shè)在泵體頭部的人孔，用高壓水槍對(duì)準(zhǔn)集灰表面進(jìn)行清洗。
高壓水清洗系統(tǒng)主要由清洗泵、高壓水槍、高壓軟管、電控箱、泵機(jī)座、高壓軟管卷筒所組成。
3 真空系統(tǒng)工作模式
3.1 預(yù)抽真空方式。
這種方式可以縮短系統(tǒng)的預(yù)抽時(shí)間。
在真空系統(tǒng)自動(dòng)方式下，當(dāng)預(yù)抽條件滿足，點(diǎn)擊中控室畫面上“預(yù)抽模式選擇按鈕”，打開(kāi)a列尾閥、s5a泵、b列尾閥、s5b泵和b列切斷閥。
預(yù)抽模式的條件為：真空系統(tǒng)達(dá)到自動(dòng)模式;主真空閥關(guān)限位到;主蒸汽閥開(kāi)限位到;閥前氮?dú)獯祾唛y關(guān)限位到;閥前氮?dú)馄瓶臻y關(guān)限位到;閥前空氣破空閥關(guān)限位到;閥后空氣破空閥關(guān)限位到;閥前測(cè)量管道吹掃閥關(guān)限位到;閥后測(cè)量管道吹掃閥關(guān)限位到。
3.2 真空系統(tǒng)準(zhǔn)備模式。
真空系統(tǒng)自動(dòng)模式下準(zhǔn)備抽氣之前，點(diǎn)擊中控室畫面上“真空系統(tǒng)準(zhǔn)備”按鈕，程序?qū)⒆詣?dòng)打開(kāi)主蒸汽閥，關(guān)閉主真空閥、放散閥、閥前氮?dú)獯祾唛y、閥前氮?dú)馄瓶臻y、閥前空氣破空閥、閥后空氣破空閥、閥前測(cè)量管道吹掃閥、閥后測(cè)量管道吹掃閥、C1上閥、C2上閥、C2下閥、C3上閥、C3下閥。
3.3 自動(dòng)模式。
真空系統(tǒng)自動(dòng)模式共分為真空模式5、真空模式4、真空模式3、真空模式2、真空模式1這五大模式。
在真空模式5打開(kāi)5級(jí)泵和b列切換閥;在真空模式4下首先打開(kāi)5級(jí)泵和b列切換閥，當(dāng)真空度達(dá)到38KPa時(shí)打開(kāi)4級(jí)泵;在真空模式3下首先打開(kāi)5級(jí)泵和b列切換閥，當(dāng)真空度達(dá)到38KPa時(shí)打開(kāi)4級(jí)泵，當(dāng)真空度達(dá)到10KPa時(shí)打開(kāi)C1下閥和3級(jí)泵同時(shí)關(guān)閉輔列閥、C2下閥和C3下閥;在真空模式2下首先打開(kāi)5級(jí)泵和b列切換閥，當(dāng)真空度達(dá)到38KPa時(shí)打開(kāi)4級(jí)泵，當(dāng)真空度達(dá)到10KPa時(shí)打開(kāi)C1下閥和3級(jí)泵同時(shí)關(guān)閉輔列閥、C2下閥和C3下閥，當(dāng)真空度達(dá)到4.5KPa時(shí)打開(kāi)2級(jí)泵;在真空模式2下首先打開(kāi)5級(jí)泵和b列切換閥，當(dāng)真空度達(dá)到38KPa時(shí)打開(kāi)4級(jí)泵，當(dāng)真空度達(dá)到10KPa時(shí)打開(kāi)C1下閥和3級(jí)泵同時(shí)關(guān)閉輔列閥、C2下閥和C3下閥，當(dāng)真空度達(dá)到4.5KPa時(shí)打開(kāi)2級(jí)泵，當(dāng)真空度達(dá)到800Pa時(shí)打開(kāi)1級(jí)泵。
3.4 破空模式。
破空模式分為正常破空模式和緊急破空模式兩種。
正常破空時(shí)，在正空處理結(jié)束時(shí)，點(diǎn)擊中控室畫面上“退出處理”按鈕，首先關(guān)閉主真空閥，當(dāng)主真空閥關(guān)限位到位后，打開(kāi)閥前氮?dú)馄瓶臻y、閥前測(cè)量管道吹掃閥和閥后空氣破空閥、閥后測(cè)量管道吹掃閥;當(dāng)閥前真空度大于30千帕?xí)r，打開(kāi)閥前空氣破空閥;當(dāng)閥前真空度大于60千帕?xí)r，關(guān)閉閥前氮?dú)馄瓶臻y。
在真空處理過(guò)程中遇到緊急情況需要緊急破空時(shí)，按下真空系統(tǒng)急停按鈕后，程序自動(dòng)打開(kāi)閥前氮?dú)馄瓶臻y、閥前管道測(cè)量吹掃閥、閥前空氣破空閥、發(fā)后空氣破空閥、閥后測(cè)量管道吹掃閥;同時(shí)關(guān)閉主閥和各級(jí)真空泵;當(dāng)閥前真空度大于60千帕?xí)r關(guān)閉閥前氮?dú)馄瓶臻y。
4 結(jié)束語(yǔ)
萊鋼120噸RH精煉爐控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)調(diào)試后即投入生產(chǎn)運(yùn)行，效果良好，創(chuàng)造了良好的社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益，為萊鋼提升自身實(shí)力和行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
真空泵系統(tǒng)設(shè)備選型及技術(shù)參數(shù)均滿足生產(chǎn)需要，保證了RH精煉爐的順利進(jìn)行。
真空泵振動(dòng)異常
一、振動(dòng)異常的原因
軸承磨損：
長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)后，軸承可能會(huì)磨損，導(dǎo)致運(yùn)轉(zhuǎn)不穩(wěn)定，從而產(chǎn)生振動(dòng)。
軸承磨損嚴(yán)重時(shí)，還可能伴隨噪音和溫度升高的問(wèn)題。
負(fù)載不均衡：
當(dāng)真空泵的負(fù)載不平衡時(shí)，如某些部件承受過(guò)大的壓力或負(fù)載，會(huì)導(dǎo)致振動(dòng)。
負(fù)載不均衡還可能導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部其他部件的損壞。
設(shè)備安裝不當(dāng)：
如果真空泵在安裝過(guò)程中沒(méi)有正確安裝或調(diào)整支撐系統(tǒng)，可能會(huì)導(dǎo)致振動(dòng)。
支撐系統(tǒng)的松動(dòng)或不穩(wěn)定也會(huì)加劇振動(dòng)。
部件松動(dòng)或損壞：
設(shè)備內(nèi)外部如有部件松動(dòng)或損壞，也可能引起振動(dòng)。
例如，排氣閥故障、轉(zhuǎn)子部件缺損等都可能導(dǎo)致振動(dòng)異常。
供水問(wèn)題：
對(duì)于水環(huán)真空泵等需要供水的設(shè)備，供水不足或過(guò)量都可能導(dǎo)致振動(dòng)加劇。
供水不足可能導(dǎo)致泵體內(nèi)部干磨，供水過(guò)量則可能增加泵體的負(fù)荷。
其他因素：
真空泵內(nèi)部故障、密封圈老化、過(guò)濾器堵塞等也可能導(dǎo)致振動(dòng)異常。
此外，外部環(huán)境的干擾（如高噪音環(huán)境）也可能影響真空泵的振動(dòng)情況。
二、解決方法
更換軸承：
當(dāng)發(fā)現(xiàn)軸承磨損時(shí)，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行更換。
選用質(zhì)量可靠的軸承，并遵循制造商的推薦進(jìn)行更換。
平衡負(fù)載：
確保真空泵的負(fù)載均衡，避免某些部件承受過(guò)大的壓力。
定期檢查設(shè)備內(nèi)部部件的磨損情況，及時(shí)更換損壞的部件。
重新安裝和調(diào)整支撐系統(tǒng)：
如果發(fā)現(xiàn)支撐系統(tǒng)松動(dòng)或不穩(wěn)定，應(yīng)重新安裝并調(diào)整支撐系統(tǒng)。
確保支撐系統(tǒng)牢固可靠，能夠支撐真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
檢查和更換損壞部件：
定期檢查設(shè)備內(nèi)外部部件的松動(dòng)和損壞情況。
對(duì)松動(dòng)或損壞的部件進(jìn)行緊固或更換。
合理控制供水：
根據(jù)真空泵的類型和規(guī)格，合理控制供水量。
避免供水不足或過(guò)量導(dǎo)致的振動(dòng)問(wèn)題。
維護(hù)設(shè)備：
定期對(duì)真空泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，包括清洗、潤(rùn)滑、更換密封件等。
保持設(shè)備內(nèi)部和外部的清潔和干燥，避免腐蝕和污染。
改善外部環(huán)境：
如果真空泵處于高噪音環(huán)境中，應(yīng)采取措施隔離或吸聲處理。
確保真空泵在安靜、穩(wěn)定的環(huán)境中運(yùn)轉(zhuǎn)。
綜上所述，真空泵振動(dòng)異常的原因可能涉及多個(gè)方面，需要根據(jù)具體情況進(jìn)行分析和解決。通過(guò)及時(shí)更換磨損部件、平衡負(fù)載、重新安裝和調(diào)整支撐系統(tǒng)、檢查和更換損壞部件、合理控制供水以及維護(hù)設(shè)備等措施，可以有效解決真空泵振動(dòng)異常的問(wèn)題。
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